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Faraday dose and uniformity monitor for plasma based ion implantation
S R Walther, Rajesh Dorai,Harold M Persing, J T Scheuer,Bonwoong Koo,Bjorn O Pedersen, Christopher J Leavitt, Timothy J Miller
mag（2006）
引用23浏览0引用
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METHODS AND APPARATUS FOR PLASMA DOPING BY ANODE PULSING
S R Walther,Bjorn O Pedersen
mag（2006）
引用30浏览0引用
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Methods and apparatus for operating high energy accelerator in low energy mode
Bjorn O Pedersen,Peter E Maciejowski, W Goodenough, Paul J Murphy, Charles M Mckenna
mag（2003）
引用30浏览0引用
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Indirectly heated cathode ion source
Peter E Maciejowski, Joseph C Olson,Shengwu Chang,Bjorn O Pedersen, Leo V Klos, Daniel Distaso,Curt D Bergeron
mag（2002）
引用34浏览0引用
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