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A Pyzyna,R L Bruce, M Lofaro, Huaijen Tsai,C Witt,L Gignac, Marilyn R Buchholtz Ten Brink,Michael A Guillorn, Gunter Fritz,Hiroyuki Miyazoe,D Klaus,Eric A Joseph,
mag(1994)
引用31浏览0引用
31
0
Yuan Taur,S J Wind,Y J Mii,Y T Lii,Dan Moy,K A Jenkins,C L Chen,P J Coane,D Klaus, J J Bucchignano,M G Rosenfield, M G R Thomson,
ELECTRON-BEAM, X-RAY, AND ION-BEAM SUBMICROMETER LITHOGRAPHIES FOR MANUFACTURING III (1993): 42-81
M G Rosenfield, M G R Thomson,P J Coane,Keith T Kwietniak,J Keller,D Klaus, R P Volant,Christopher Blair, K S Tremaine,T H Newman,F J Hohn
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