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J. -F. de Marneffe,D. Marinov, A. Goodyear,P. -j. Wyndaele,N. St. J. Braithwaite, S. Kundu,I. Asselberghs, M. Cooke,S. De Gendt
Journal of Vacuum Science & Technology Ano. 4 (2022)
Symposium on VLSI Technology-Digest of Technical Paperspp.T94-T95, (2019)
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Plasma Sources Science and Technologyno. 4 (2018)
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