基本信息
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个人简介
致力于高端光刻检测技术及装备研制,主要研究方向包括光刻曝光系统像质检测技术、光刻镜面面形绝对检测技术、测量不确定度及工艺控制等。
近5年承担或参与的科研项目包括:国家科技重大专项(02专项)、国家自然科学基金面上项目、国家重点研发计划、中国科学院西部青年学者、四川省重大科学仪器设备专项、四川省区域创新合作重点研发项目等。负责开发了一套基于检测技术支撑的创新超高精度计算全息基板研制工艺(透射波前达到0.1nm RMS),突破关键检测技术,使得光刻非球面计算全息检测技术已达到国际先进水平,顺利保障重大项目的完成。
近5年承担或参与的科研项目包括:国家科技重大专项(02专项)、国家自然科学基金面上项目、国家重点研发计划、中国科学院西部青年学者、四川省重大科学仪器设备专项、四川省区域创新合作重点研发项目等。负责开发了一套基于检测技术支撑的创新超高精度计算全息基板研制工艺(透射波前达到0.1nm RMS),突破关键检测技术,使得光刻非球面计算全息检测技术已达到国际先进水平,顺利保障重大项目的完成。
研究兴趣
论文共 12 篇作者统计合作学者相似作者
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时间
引用量
主题
期刊级别
合作者
合作机构
Photonicsno. 2 (2023): 168-168
Photonicsno. 10 (2023): 1083-1083
Optics Expressno. 12 (2022): 21568-21581
Proceedings of SPIE (2019)
8TH INTERNATIONAL SYMPOSIUM ON ADVANCED OPTICAL MANUFACTURING AND TESTING TECHNOLOGY: OPTICAL TEST, MEASUREMENT TECHNOLOGY, AND EQUIPMENT (2016)
8TH INTERNATIONAL SYMPOSIUM ON ADVANCED OPTICAL MANUFACTURING AND TESTING TECHNOLOGY: OPTICAL TEST, MEASUREMENT TECHNOLOGY, AND EQUIPMENT (2016)
Proceedings of SPIE (2015)
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