基本信息
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职业迁徙
个人简介
长期从事光刻成像理论与计算光刻技术、纳米光学测量技术与仪器、集成电路IC制造在线缺陷检测技术与装备等方面的研究工作,致力于精密机械、光学工程、仪器科学、光电材料、集成电路等学科交叉融合的基础研究与产业应用。近年来,主持包括国家自然科学基金面上项目2项,国家重点研发计划子课题,湖北省杰出青年基金等多项科研项目。在Phys. Rev. B, Phys. Rev. E, IEEE Trans., AIAA J., Opt. Express, Opt. Lett.等国际期刊上发表SCI论文65篇,其中第一作者及通讯作者40余篇,获国内外发明专利10余项。获湖北省技术发明一等奖、日内瓦国际发明金奖等荣誉。
研究兴趣
论文共 116 篇作者统计合作学者相似作者
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时间
引用量
主题
期刊级别
合作者
合作机构
OPTICS EXPRESSno. 5 (2024): 8415-8424
APL MATERIALSno. 4 (2024): 041126-041126-10
ACS Photonicsno. 10 (2023): 3484-3493
引用0浏览0引用
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ACS PHOTONICS (2023)
引用0浏览0引用
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Photonicsno. 1064 (2023): 1064-1064
OPTICS AND LASERS IN ENGINEERING (2023): 107803-107803
Applied opticsno. 15 (2023): 3829-3838
LASER & OPTOELECTRONICS PROGRESSno. 24 (2023)
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