基本信息
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职业迁徙
个人简介
主要研究方向为微机电系统(mems)惯性传感器及MEMS制造技术
主持国家自然科学基金面上项目1项、青年基金1项,主持国家863计划项目2项,主持西安市科技计划项目1项:
1、国家自然科学基金青年基金,硅-玻璃-硅三层键合的微玻璃球壳谐振器制造方法研究,25万元
2、国家自然科学基金面上项目,环间嵌入电极的多环谐振式微机械陀螺关键技术研究,60万元
主持国家自然科学基金面上项目1项、青年基金1项,主持国家863计划项目2项,主持西安市科技计划项目1项:
1、国家自然科学基金青年基金,硅-玻璃-硅三层键合的微玻璃球壳谐振器制造方法研究,25万元
2、国家自然科学基金面上项目,环间嵌入电极的多环谐振式微机械陀螺关键技术研究,60万元
研究兴趣
论文共 87 篇作者统计合作学者相似作者
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合作机构
IEEE sensors journalpp.1-1, (2024)
Sensors and Actuators A: Physical (2023): 114461-114461
Yongqi Cao,Dezhi Nie,Jian Zhang,Yiwei Wang, Ronggana He,Zhe Zhao,Jin Wu,Bowen Ji,Jianbing Xie,Kai Tao
2021 21ST INTERNATIONAL CONFERENCE ON SOLID-STATE SENSORS, ACTUATORS AND MICROSYSTEMS (TRANSDUCERS)pp.1283-1286, (2021)
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作者统计
#Papers: 88
#Citation: 969
H-Index: 17
G-Index: 28
Sociability: 5
Diversity: 3
Activity: 11
合作学者
合作机构
D-Core
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- 导师
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