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个人简介
研究概况
主要研究包括大尺寸光栅的制作技术,光栅的离子束刻蚀及实时监测技术,中阶梯光栅的制作,光栅掩膜的无损检测,光栅参数高精度测量等。也包括光栅在计量中的应用,如二维光栅尺,基于光栅的外差调制技术,外差型傅立叶变换光谱仪等。
研究领域
精密计量与测试:干涉测量,光栅制作工艺
主要研究包括大尺寸光栅的制作技术,光栅的离子束刻蚀及实时监测技术,中阶梯光栅的制作,光栅掩膜的无损检测,光栅参数高精度测量等。也包括光栅在计量中的应用,如二维光栅尺,基于光栅的外差调制技术,外差型傅立叶变换光谱仪等。
研究领域
精密计量与测试:干涉测量,光栅制作工艺
研究兴趣
论文共 138 篇作者统计合作学者相似作者
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合作者
合作机构
EPJ Web of Conferences (2023): 04031-04031
wos(2023)
引用0浏览0引用
0
0
wos(2022)
Holography, Diffractive Optics, and Applications XII (2022)
HOLOGRAPHY, DIFFRACTIVE OPTICS, AND APPLICATIONS XI (2021)
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