BindingPeng Liu(刘鹏)EngineerFollow His/Her Research Updatesviews: 9InformationEngineer北京大学信息科学技术学院Sign in to view moreExperienceSign in to view moreEducationSign in to view moreBio刘鹏,男,1981年出生,硕士。2007年起,专业从事微电子加工工艺研究,主要研究方向是基于电子束光刻工艺的纳尺度图形化技术,和基于高密度等离子体干法刻蚀工艺的纳尺度图形转移技术。Research InterestsPapersSortBy YearBy CitationAdd PaperView AllEgo NetworkD-CoreCo-AuthorAuthor Statistics数据免责声明页面数据均来自互联网公开来源、合作出版商和通过AI技术自动分析结果,我们不对页面数据的有效性、准确性、正确性、可靠性、完整性和及时性做出任何承诺和保证。若有疑问,可以通过电子邮件方式联系我们:report@aminer.cn