基本信息
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职业迁徙
个人简介
刘全,男,博士,副研究员。主要从事微纳光学和衍射光学、微纳制造技术、以及光电测试的研究工作。
研究方向
1. 微纳光学和衍射光学
2. 微纳制造技术
近三年,开展了纳米压印模板、高性能纳米线栅的研制以及闪耀光栅的研制工作。采用全息光刻方法制作光刻胶光栅掩模,利用离子束刻蚀技术进行掩模图形转移,成功制作了周期分别为180nm、230nm、250nm、600nm和1000nm的压印模板;成功制作了周期分别为180nm、300nm的纳米线栅;成功制作了周期范围在0.8微米--13微米的平面和凸面闪耀光栅,应用于航空航天对地遥感系统。曾获苏州市科技进步一等奖(2010年度,主持人)
研究方向
1. 微纳光学和衍射光学
2. 微纳制造技术
近三年,开展了纳米压印模板、高性能纳米线栅的研制以及闪耀光栅的研制工作。采用全息光刻方法制作光刻胶光栅掩模,利用离子束刻蚀技术进行掩模图形转移,成功制作了周期分别为180nm、230nm、250nm、600nm和1000nm的压印模板;成功制作了周期分别为180nm、300nm的纳米线栅;成功制作了周期范围在0.8微米--13微米的平面和凸面闪耀光栅,应用于航空航天对地遥感系统。曾获苏州市科技进步一等奖(2010年度,主持人)
研究兴趣
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合作机构
Earth and Space: From Infrared to Terahertz (ESIT 2022) (2023)
Guangxue xuebaono. 8 (2023): 0822018-0822018
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