基本信息
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职业迁徙
个人简介
主要是针对低温等离子体技术中的关键物理问题及关键技术开展科学研究,如等离子体源电非对称效应问题的研究和等离子体刻蚀多孔材料问题的研究。
在低温等离子体物理中的物理建模、PIC/MC的模型(1、2维隐格式)、大规模并行计算、以及相关的数值仿真模拟有着独到的见解和创新,目前在Physical Review Letters, Plasma Sources Science and Technology, Applied Physics Letters等期刊上发表SCI论文27篇,论文总引用超过150次,其中2篇文章的他引超过30次。
结合模拟和实验工作,首次验证了双频 容性耦合等离子体 中的无碰撞“反弹共振加热机制”,并通过数值模拟揭示了这种加热机制的物理图像。该研究成果发表在国际顶级期刊 Phys. Rev. Lett. (JCR 1 区)上(全权负责理论模拟,皆为论文的第二作者;第一作者为实验负责人)。
针对多孔材料的等离子体低温刻蚀的系统研究
在低温等离子体物理中的物理建模、PIC/MC的模型(1、2维隐格式)、大规模并行计算、以及相关的数值仿真模拟有着独到的见解和创新,目前在Physical Review Letters, Plasma Sources Science and Technology, Applied Physics Letters等期刊上发表SCI论文27篇,论文总引用超过150次,其中2篇文章的他引超过30次。
结合模拟和实验工作,首次验证了双频 容性耦合等离子体 中的无碰撞“反弹共振加热机制”,并通过数值模拟揭示了这种加热机制的物理图像。该研究成果发表在国际顶级期刊 Phys. Rev. Lett. (JCR 1 区)上(全权负责理论模拟,皆为论文的第二作者;第一作者为实验负责人)。
针对多孔材料的等离子体低温刻蚀的系统研究
研究兴趣
论文共 83 篇作者统计合作学者相似作者
按年份排序按引用量排序主题筛选期刊级别筛选合作者筛选合作机构筛选
时间
引用量
主题
期刊级别
合作者
合作机构
PLASMA SCIENCE & TECHNOLOGYno. 4 (2024)
Physica Scripta (2024)
PHYSICA SCRIPTAno. 5 (2024)
FUSION ENGINEERING AND DESIGN (2024): 114104
Plasmano. 4 (2023): 637-648
Pankaj Attri,Takamasa Okumura,Nozomi Takeuchi, Jamoliddin Razzokov,Quan‐Zhi Zhang,Kunihiro Kamataki,Masaharu Shiratani,Kazunori Koga
Plasma medicine (2023)
引用0浏览0引用
0
0
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY Ano. 5 (2023)
PLASMA SCIENCE & TECHNOLOGYno. 3 (2023): 035401-035401
APPLIED PHYSICS LETTERSno. 20 (2023)
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作者统计
合作学者
合作机构
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