基本信息
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职业迁徙
个人简介
Shinji Okazaki博士1970年毕业于东京工业大学理学部电子工学科,之后进入日立中央研究所工作。1980年赴美国伦斯勒理工学院(Rensselaer Polytechnic Institute)访学一年。2002年就任ASET的EUV工艺技术研究部部长,2006年返回日立中央研究所。2008年从日立离职,进入Gigaphoton公司工作,并调职至日本极紫外光刻系统开发协会EUVA(Extreme Ultraviolet Lithography System Development Association),现为Gigaphoton公司EUV开发部部长顾问。Shinji Okazaki博士为IEEE Fellow,SPIE Fellow,日本应用物理学会Fellow。(所办公室、信息光学与光电技术实验室供稿)
研究兴趣
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PROCEEDINGS OF THE SOCIETY OF PHOTO-OPTICAL INSTRUMENTATION ENGINEERS (SPIE) (2002): 710-715
PROCEEDINGS OF THE SOCIETY OF PHOTO-OPTICAL INSTRUMENTATION ENGINEERS (SPIE) (2002): 716-724
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