基本信息
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职业迁徙
个人简介
主要研究方向微电子及光电子材料超精密加工及性能研究。中国电子学会、中国材料学会、中国微米纳米学会高级会员。获省部级发明奖3项,完成“极大规模集成电路平坦化工艺与材料”国家02重大专项前瞻性应用示范项目中课题“碱性抛光液CMP工艺以及相关材料、工艺与设备关系的研究”1项;主研国家中长期02重大科技专项课题“20-14nm集成电路碱性抛光液与清洗液的研发”1项。主研及主持完成国家自然科学基金、省部级项目等10余项;发表学术论文100余篇,其中SCI、EI检索70余篇,SCI引文数十次;授权国家发明专利13项,美国发明专利2项。培养的硕士生发表SCI二区以上论文十余篇,分别获国家奖学金和河北省研究生优秀毕业生。获河北省多媒体大赛一等奖1次、二等奖1次;获河北工业大学教学成果奖1项、优秀共产党员1次、五比双创示范岗1次;获天津市教育系统优秀共产党员、五比双创示范岗等。
研究兴趣
论文共 216 篇作者统计合作学者相似作者
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合作机构
APPLIED SURFACE SCIENCE (2024): 159469
Changxin Dong,Xinhuan Niu, Jianghao Liu,Ni Zhan,Yida Zou, Chao He, Xinjie Li,Fu Luo,Yunhui Shi, Jiabao Cheng
ECS Journal of Solid State Science and Technology (2024)
Materials Chemistry and Physics (2024): 129066
2024 Conference of Science and Technology for Integrated Circuits (CSTIC)pp.1-3, (2024)
2024 Conference of Science and Technology for Integrated Circuits (CSTIC)pp.1-3, (2024)
Tribology Internationalpp.109603, (2024)
Ni Zhan, Chao He,Xinhuan Niu,Nannan Zhang,Yida Zou, Jianghao Liu, Changxin Dong, Xinjie Li,Jianwei Zhou
COLLOIDS AND SURFACES A-PHYSICOCHEMICAL AND ENGINEERING ASPECTS (2024): 133609
2024 Conference of Science and Technology for Integrated Circuits (CSTIC)pp.1-3, (2024)
CERAMICS INTERNATIONALno. 6 (2023): 9622-9631
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