基本信息
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个人简介
中国微米纳米技术学会常务理事,中国电子学会敏感技术分会副主任委员。
研究成果概况
近年来主要工作集中在MEMS设计加工技术、微型加速度计及三代半导体技术研究工作,曾主持开发了表面牺牲层技术等MEMS加工工艺;主持了新型化学传感器,电容式、谐振式和隧穿式等MEMS器件的开发。目前工作重点为高精度微型加速度计和压力传感器。近十年来发表文章100余篇,获专利4项,合作出版教材1部,获国家发明二等奖1项,北京市科技进步一等奖一项,北京市精品教材一部。
研究成果概况
近年来主要工作集中在MEMS设计加工技术、微型加速度计及三代半导体技术研究工作,曾主持开发了表面牺牲层技术等MEMS加工工艺;主持了新型化学传感器,电容式、谐振式和隧穿式等MEMS器件的开发。目前工作重点为高精度微型加速度计和压力传感器。近十年来发表文章100余篇,获专利4项,合作出版教材1部,获国家发明二等奖1项,北京市科技进步一等奖一项,北京市精品教材一部。
研究兴趣
论文共 54 篇作者统计合作学者相似作者
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Yanlin Wu,Jin Wei,Maojun Wang, Muqin Nuo, Junjie Yang,Wei Lin,Zheyang Zheng,Li Zhang,Mengyuan Hua,Xuelin Yang,Yilong Hao,Kevin J. Chen,
IEEE Electron Device Lettersno. 1 (2023): 25-28
Zhenyu Li, Hui Zhang,Binh Nguyen, Shaobo Luo, Patricia Yang Liu, Jun Zou, Yuzhi Shi,Hong Cai,Zhenchuan Yang, Yufeng Jin,Yilong Hao, Yi Zhang,
Yuzhi Shi,Sha Xiong,Lip Ket Chin, Jingbo Zhang,Wee Ser,Jiuhui Wu, Tianning Chen,Zhenchuan Yang,Yilong Hao, Bo Liedberg, Peng Huat Yap, Din Ping Tsai,
Science Advancesno. 1 (2018)
IEEE ELECTRON DEVICE LETTERSno. 6 (2018): 859-862
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