钛合金阳极氧化膜的XPS研究

利用XPS分析了TC4钛合金经阳极氧化处理后,表面氧化膜的成分和结构及其随深度的变化。研究表明,钛合金阳极氧化膜表面为单一的TiO2,并以晶态和非晶态的形式存在于氧化膜中。随着氧化膜厚度的增加,内部氧化越来越不充分,TiO2的含量减少,并逐渐出现Ti2O3、TiO;并且阳极氧化处理明显增厚了表面氧化膜。