微米纳米科学技术发展及产业化启示
Nanotechnology and Precision Engineering（2007）
摘要
近年来,微米纳米科学技术发展迅速,在产业化方面已经取得了不少进展.本文从发展现状和趋势上,结合我国具体情况,阐述了以下观点:开展创新工艺和设计方法研究,提高微机电(MEMS)应用和产业化能力;开展基础研究,提高MEMS器件和系统的水平;加强微米/纳米科学技术成果的结合.最后对今后研究工作提出了建议.
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关键词
status and trend in development,nano science and technology,micro-electro-mechanical system
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