用同步辐射X射线衍射技术分析GaN/Si外延膜的结构与应变

Physics Experimentation（2011）

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摘要

选用有AlN和AlGaN缓冲层的GaN/Si作为测试样品,采用同步辐射X射线衍射(SRXRD)技术对样品外延膜(GaN)的几何结构、晶格常量及其应变进行了分析.结果表明,同步辐射X射线衍射实验可以作为一种有效的技术手段,测试固体结构及应变.

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关键词

lattice constant,strain,Bragg angle,synchrotron radiation X-ray diffraction

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