Ti-Si-N纳米超硬膜的研究进展
New Technology & New Process（2006）
摘要
随着现代工业对材料表面涂层的要求不断提高,Ti-Si-N膜以其独特的纳米复合结构、超硬性及其他优异的力学性能成为研究的热点。本文综述了Ti-Si-N纳米复合膜的制备工艺以及工艺参数对Ti-Si-N膜的微观结构与力学性能的影响。
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关键词
nano hardness,Ti-Si-N film,microstructure,processing parameters,nanocomposite coating
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