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Evolution of Epilayer Tilt in InGaAs Metamorphic Buffer Layers Grown by HVPE

Kevin L. Schulte,T. F. Kuech

Acta Crystallographica Section A（2014）

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关键词
dislocations,III-V semiconductors,Vapor Phase Epitaxy
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生成溯源树，研究论文发展脉络
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