石英真空计的设计

Vacuum(2008)

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摘要
本文提出一种用特性曲线设计石英真空计的方法.实验发现,在一定的条件下,与石英晶振串接的电阻尺上的电压UBC与气体压强P有一定的函数关系.这个电压UBC经过放大、检波与调节后的读数V与气体压强P的关系V-P曲线称特性曲线.实验证明该曲线具有很好的稳定性和重复性.用该曲线可以测量气体压强.
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关键词
resonant impedance,quartz impedance vacuum gauge,characteristic curve
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