278nm全固态激光系统倍频分离膜的研制

根据278 nm激光系统的技术要求,研制了一种倍频分离膜,用于二倍频激光和四倍频激光的分离.实验以牌号为JGS1的石英玻璃作为基底,结合激光损伤热效应机理及材料的本征吸收,选择金属铪和UV-SiO2作为薄膜材料.利用Macleod膜系设计软件分析电场强度分布随膜系周期的变化规律,依据薄膜设计理论和激光损伤场效应机理,完成了倍频分离膜的设计.采用X射线光电子能谱仪、分光光度计和ZYGO干涉仪表征了薄膜的化学成分、光学性能和表面粗糙度.对实验结果进行对比分析,优化薄膜的生长工艺,减小了外因吸收.测试结果表明,当入射角为45°时,278 nm波长处的透过率为98.82％,556 nm波长处的反射率为99.80％,在40°～50°宽入射角范围内,光谱性能均可达到技术指标,激光损伤阈值为12.53 J/cm2,满足使用要求.