飞秒激光过饱和掺杂硅基光电探测器研究进展

进晓荣 Jin Xiaorong,吴强 Wu Qiang,黄松 Huang Song,贾子熙 Jia Zixi,宋冠廷 Song Guanting, 周旭 Zhou Xu,姚江宏 Yao Jianghong,许京军 Xu Jingjun

LASER & OPTOELECTRONICS PROGRESS（2020）

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摘要

基于过饱和掺杂硅材料制备的光电探测器表现出低电压高增益、可见光到近红外波段宽光谱响应等优点,主要介绍了飞秒激光过饱和掺杂的作用机制,以及相应硅基光电探测器的国内外研究进展,具体讨论了如何提升器件响应、抑制暗电流、改善材料品格质量、提升载流子输运能力等问题,介绍了器件在柔性光电子领域的应用拓展,并展望了飞秒激光过饱和掺杂硅基光电探测器的发展前景.

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关键词

laser optics, femtosecond laser, black silicon, hyperdoping, photodetector

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