高科技产品中微机电系统应用研究

wuxian hulian keji（2018）

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摘要

文章以CMOS为引子,概述MEMS的研究性质、主要特征;以通信/移动设备、智能手环为例,解读高科技产品中MEMS的应用状况;最后介绍MEMS与CMOS的差异,提出了我国发展MEMS的基本设想.

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