BST铁电薄膜的制备及介电性能研究

通过射频磁控溅射法,采用高温溅射、低温溅射高温退火两种不同的工艺制备了钛酸锶钡(BST)薄膜.分析两种不同的工艺对BST薄膜的结构、微观形貌及介电性能的影响.采用X线衍射(XRD)分析了样品的微观结构.采用扫描电镜(SEM)和台阶仪分别测试了样品的微观形貌和表面轮廓.通过能谱分析(EDS)得到了薄膜均一性的情况.最后通过电容-电压(C-V)曲线测试得到BST薄膜的介电常数偏压特性.结果表明,与低温溅射高温退火工艺制备的BST薄膜相比,高温溅射制备的BST薄膜结晶度好,致密性高,表面光滑,薄膜成分分布较均一.因此,采用高温溅射得到的BST薄膜性能较好.在频率300 kHz时,采用高温溅射制备的BST薄膜介电常数为127.5～82.0,可调谐率为23.86%～27.9%.