CrN系硬质膜的发展与应用

Materials Protection（2019）

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摘要

针对现有的各种CrN系硬质膜的制备技术、晶体结构、硬度、耐磨性、耐蚀性等组织性能方面进行了详细的讨论和分析,指出了不同CrN系薄膜的性能及优缺点,并对未来CrN系硬质膜的发展进行了展望.

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