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残留金属膜による超伝導共振器の品質因子の劣化とカルデラ平坦化を用いた改良製造プロセス【JST・京大機械翻訳】

Irimatsugawa Tomoya,Yamamori Hirotake,Hirayama Fuminori,Nagasawa Shuichi,Fujii Go,Kohjiro Satoshi,Sato Akira,Fukuda Daiji,Hidaka Mutsuo,Sato Yasushi,Ohno Masashi,Takahashi Hiroyuki

IEEE Transactions on Applied Superconductivity（2019）

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