激光刻蚀对Ag/FTO/AZO薄膜光学和电学性能的影响

Zhou Yunlong, Lei Min, Wang Chenlin,Xu Qian,Li Baojia,Huang Lijing

Chinese Journal of Lasers（2022）

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摘要

采用不同能量密度的激光对制备的Ag/FTO/AZO多层薄膜进行光栅结构刻蚀,分析激光刻蚀后薄膜的表面形貌、光学性能和电学性能的变化,并确定薄膜获得最佳性能时的激光能量密度.结果表明,以一定的激光能量密度对薄膜进行光栅结构刻蚀处理,不仅能有效提高薄膜的抗反射能力,还能产生附加退火作用,促使薄膜晶粒生长,减少晶界面积,从而减少晶界的光子和载流子的散射损失,提高载流子的迁移率,最终提高薄膜的透过率,优化薄膜的导电性能,实现薄膜的光学性能和电学性能的优化.

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关键词

laser processing, Ag, FTO, AZO film, grating structure, optical property, electrical property

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