基于气浮技术的自调平系统的设计应用
Electronics Process Technology（2022）
摘要
气浮技术由于其高速度、高精确度、摩擦损耗小、噪音低、可靠性高和成本低的优点,在半导体、微电子、液晶显示领域的各类精密设备中的应用日趋广泛.论述了气浮技术的多种应用方式,并重点对气浮自调平系统进行了深入探讨,从系统的原理、设计、应用验证等多个方面进行了分析阐述,使基于气浮技术的自调平关键结构设计在精密设备中得以实现.
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