GAZO/Ag/GAZO透明导电薄膜的磁控溅射制备及光电性能优化

Liao Junchen, Qian Rui,Chen Dong, Chen Haijin,Luo Guoping,Zhu Weiling

Laser & Optoelectronics Progress（2023）

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摘要

采用多源磁控溅射技术在玻璃衬底上制备了 Ga、Al共掺杂氧化锌(GAZO)/Ag/GAZO透明导电薄膜.对比实验表明,通入O2溅射Ag能够提高薄膜在600～800 nm波段的光透射率.进一步优化后,发现在O2流量为1.0 sccm的条件下,12nm的Ag获得连续结构,提升了GAZO/Ag/GAZO薄膜的光电性能.在空气中经150℃退火处理1 h,GAZO/Ag/GAZO薄膜的光电性能和结构性能都得到提升.退火后薄膜方块电阻为8.99Ω/sq,380～780nm可见光波段平均透射率为98.17％,品质因子高达2260Ω-1.该GAZO/Ag/GAZO透明导电薄膜显示出优异的光电性能,有望替代铟锡氧化物薄膜用于光电器件领域.

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