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Fluorine-based plasma treatment for AlGaN/GaN e-mode HEMTs and low on-voltage diodes

Quentin Fornasiero, N. Defrance, Marie Lesecq, Éric Frayssinet, Y. Cordier,Florian Chevalier,Nadir Idir, Jean-Claude de Jaeger

HAL (Le Centre pour la Communication Scientifique Directe)（2021）

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关键词
algan/gan,plasma treatment,fluorine-based,e-mode,on-voltage
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