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AR-XPS modeling of SiNx ultrathin layers grown on Si(100)by N2 plasma treatment.

H. Beji,G. Monier,L. Bideux, P. Hoggan,Angélique Bousquet,Éric Tomasella,C. Robert-Goumet

HAL (Le Centre pour la Communication Scientifique Directe)（2022）

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关键词

ultrathin layers,sinx,plasma,ar-xps

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