Спектроскопия Рассеяния Ионов Средних Энергий: Изучение Аморфизации Германия Под Действием Ионного Облучения

Введен в строй экспериментальный комплекс, на котором реализована методика диагностики элементного состава материалов – спектроскопия рассеяния ионов средних энергий. Для проведения экспериментов приготовлена мишень из монокристаллического Ge с гладкой поверхностью и структурной неоднородностью в слое толщиной в несколько нанометров. Эксперименты показали, что разрешение метода по глубине составляет 6 A.