Светодиодный Многоканальный Спектральный Эллипсометр С Бинарной Модуляцией Состояния Поляризации

Использование набора из 8 светодиодов в многоканальном спектральном эллипсометре с бинарной модуляцией состояния поляризации позволило создать простой эллипсометр с полностью перекрывающимся диапазоном длин волн 350–810 нм и высокими техническими характеристиками. Воспроизводимость и стабильность измерений эллипсометрических параметров Ψ и Δ – 0.01° и 0.03° соответственно. Минимальное время измерения Ψ и Δ в диапазоне длин волн 435–690 нм – 0.5 с, в полном диапазоне длин волн 350–810 нм – 5 с.