Атомно-силовая Микроскопия На Поверхности С Развитым Профилем

Предложен новый режим работы атомно-силового микроскопа (вертикальная мода), позволяющий проводить измерения топографии и других физических параметров поверхности на объектах, имеющих глубокие поры, вертикальные стенки, существенные перепады высот. Замер высоты осуществляется при вертикальном равномерном движении зонда по направлению к поверхности. Представлены экспериментальные результаты, полученные в данном режиме.