Создание Защитных Металлических Покрытий На Алюминии Методом Магнетронного Распыления

Проведены эксперименты по нанесению медных и титановых покрытий на алюминиевые фольги и полированные алюминиевые пластины для их защиты от коррозии в щелочных средах. Покрытия осаждались в магнетронных распылительных системах трех типов: в стационарном магнетронном разряде, в сильноточном импульсном магнетронном разряде и в стационарном магнетронном разряде с расплавленным катодом. Стойкими к воздействию раствора NaOH (30 вес. %) оказались только алюминиевые фольги с медными покрытиями, полученными при использовании комбинированной ионно-плазменной технологии. Она включает в себя предварительную очистку поверхности алюминия ионным пучком, нанесение плотного промежуточного слоя в стационарном магнетронном разряде с ионным ассистированием начального этапа осаждения и нанесение дополнительного слоя в магнетронном разряде с расплавленным катодом.