Экспериментальное изучение параметров плазмы гибридного ВЧ-разряда низкого давленияК.В. Вавилин,М.А. Гоморев,Е.А. Кралькина,П.А. Неклюдова,В.Б. Павлов,Ч. ЧжаоВестник Московского университета. Серия 3: Физика, астрономия（2012）被引用23|浏览5上传PDF分享引用加入学术空间AI Read Science数据免责声明页面数据均来自互联网公开来源、合作出版商和通过AI技术自动分析结果，我们不对页面数据的有效性、准确性、正确性、可靠性、完整性和及时性做出任何承诺和保证。若有疑问，可以通过电子邮件方式联系我们：report@aminer.cnChat Paper正在生成论文摘要
分享
引用
