Многослойные Рентгеновские Зеркала Для Спектральной Области “окна Прозрачности Углерода” 4.4–5 Нм

Изготовлены и исследованы многослойные рентгеновские зеркала на основе Cr/C, предназначенные для отражения излучения в области “углеродного окна” ( = 4.4–5 нм). Структуры получены методом магнетронного распыления при различных параметрах осаждения. При нормальном падении достигнуты рекордные коэффициенты отражения более 15%. Методом рефлектометрии на длинах волн 0.154 и 4.47 нм изучены структурные параметры зеркал.