Повышение Точности Аппроксимации Профиля Зоны Эрозии Планарных Магнетронов
Журнал технической физики（2017）
Национальный исследовательский центр Курчатовский институт"
摘要
Краткие сообщения 04 Повышение точности аппроксимации профиля зоны эрозии планарных магнетронов © А.В
更多查看译文
原文链接
分享
引用
