探空仪的加热式湿度传感器及测量电路分析李群芳探索科学(2020)被引用0|浏览2摘要我国科学技术发展以来,探空仪加热式湿度传感器在一些领域中应用较为广泛,但是在应用的过程中存在一些问题,比如在湿度较高的环境易结露、电路板电容对于测量结果有影响以及湿度波动较大等,这对传感器正常使用有一定影响.为此,研究了具有蛇形加热器平板夹心电容式湿度传感器,并在此基础上对测量电路进行了有效的设计,通过微机电系统工艺对加热式湿度传感器进行设计,提出了在电容充放电的基础上与比较法的湿度测量电路,以此对湿度漂移与零点漂移进行抑制,从而降低了寄生电容对测量结果的影响.更多上传PDF引用加入学术空间AI 理解论文数据免责声明页面数据均来自互联网公开来源、合作出版商和通过AI技术自动分析结果,我们不对页面数据的有效性、准确性、正确性、可靠性、完整性和及时性做出任何承诺和保证。若有疑问,可以通过电子邮件方式联系我们:report@aminer.cnChat Paper正在生成论文摘要