Особенности Трансформации Микрорельефа Структур "кремний На Изоляторе" При Воздействии Фотонных И Корпускулярных Излучений

Б.А. Логинов, Д.Ю. Блинников, В.C. Второва, В.В. Кириллова, Е.А. Ляшко, В.С. Макеев, А.Р. Первых,Н.Д. Абросимова,И.Ю. Забавичев,А.С. Пузанов,Е.В. Волкова,Е.А. Тарасова,С.В. Оболенский

Журнал технической физики（2023）

被引用0|浏览12

摘要

Приведены результаты исследований параметров микрорельефа и электрофизических характеристик структур "кремний на изоляторе" после воздействия гамма- и гамма-нейтронного излучения. Экспериментальные исследования проведены методами атомно-силовой микроскопии и псевдо-МДП транзистора. На основе полученных данных проведена оценка эффективного радиуса ядер кластеров радиационных дефектов. Ключевые слова: Атомно-силовая микроскопия, кремний на изоляторе, "допороговое" дефектообразование, кластеры радиационных дефектов.

查看译文