Получение Пленок Оксида Кремния Методом Импульсного Магнетронного Осаждения С Горячей Мишенью В Реакционной Среде

Исследованы режимы существования импульсного магнетронного разряда с горячей теплоизолированной кремниевой мишенью при работе в газовой смеси, содержащей кислород (Ar + O 2 ). Рассмотрен диапазон средней плотности мощности на мишени 60…120 Вт/см 2 при длительности импульсов 100…300 мкс и частоте повторения 0.5…2 кГц. Построены карты стабильных режимов работы распылительной системы. Получены и продиагностированы покрытия Si x O y на подложках из монокристаллического кремния при различных значениях доли кислорода в газовом потоке и различных параметрах импульсного питания магнетрона.