ВЛИЯНИЕ СОСТАВА И МОРФОЛОГИИ ОПТИЧЕСКИХ ИНТЕРФЕРЕНЦИОННЫХ ПОКРЫТИЙ ДИЭЛЕКТРИЧЕСКИХ ЗЕРКАЛ ДЛЯ ЛАЗЕРНЫХ ИСТОЧНИКОВ ЛИДАРНЫХ КОМПЛЕКСОВ НА ПОРОГ ОПТИЧЕСКОГО ПРОБОЯ

Представлены результаты исследования влияния морфологии и состава тонких пленок, образующих структуру диэлектрических зеркал оптических резонаторов когерентных источников для лидаров, на порог оптического пробоя. В программном обеспечении Optilayer проведено моделирование диэлектрических зеркал с использованием двух пар материалов TiO2/SiO2 и ZnS/YbF3. С помощью электронной и атомно-силовой микроскопии определены их морфологические особенности. Методом ионно-лучевого распыления нанесена рассчитанная структура интерференционного покрытия на подложку из кварца марки КИ. Определен порог лазерно-индуцированного пробоя диэлектрических зеркал излучением Nd:YAG-лазера на длине волны 1064 нм, который составил 4 Дж/см2 для зеркала TiO2/SiO2 и 3,2 Дж/см2 для зеркала ZnS/YbF3. Результаты работы могут быть полезны при изготовлении диэлектрических зеркал с высоким порогом оптической прочности для лидарных систем и комплексов, как в источниках, так и в приемных системах. The paper presents the results of studying the influence of the morphology and composition of thin films that form the structure of dielectric mirrors of optical resonators of coherent sources for LIDARs. The Optilayer software simulated dielectric mirrors based on two pairs of materials: TiO2/SiO2 and ZnS/YbF3. Using electron and atomic force microscopy, their morphological features were determined. The calculated structure of the interference coating was deposited onto a substrate using the ion-beam sputtering method. The threshold of laser-induced breakdown of dielectric mirrors by Nd:YAG laser radiation at a wavelength of 1064 nm was found to be 4 J/cm2 for a TiO2/SiO2 mirror and 4 J/cm2 for a ZnS/YbF3 mirror.