Труды V научно-технического Семинара по электронно-пучковому оборудованию и технологиям(2024)
Институт сильноточной электроники СО РАН
被引用0|浏览4
摘要
Представлены результаты исследований импульсного периодического тлеющего разряда в потоке аргона при атмосферном давлении, при частоте следования импульсов до 100 кГц, длительности импульса несколько микросекунд и при значениях тока в импульсе от нескольких десятков миллиампер до 1 А. Выявлены условия, при которых в разрядной плазме наблюдается присутствие ионов и атомов материалов катодной вставки, в качестве которых применялись легкоплавкие металлы. Показано, что при остывании атомов металлов происходит их слипание в наноразмерные частицы и формирование порошков оксидов металлов.