イオンビームを用いたゼロデュアの微少量加工における表面粗さの評価:Ar+イオンのエネルギーが3~10keVの場合 亮 魚住,優一 倉島,岩男 宮本, 敦司 沼田,学 安藤openalex(2007)被引用22|浏览3上传PDF引用加入学术空间AI Read Science数据免责声明页面数据均来自互联网公开来源、合作出版商和通过AI技术自动分析结果,我们不对页面数据的有效性、准确性、正确性、可靠性、完整性和及时性做出任何承诺和保证。若有疑问,可以通过电子邮件方式联系我们:report@aminer.cnChat Paper正在生成论文摘要