CТАБИЛЬНОСТЬ СВОЙСТВ И МЕХАНИЗМЫ ДЕГРАДАЦИИ МНОГОСЛОЙНЫХ ПРОЗРАЧНЫХ ПРОВОДЯЩИХ СТРУКТУР В УСЛОВИЯХ ТЕСТА "ВЛАЖНОЕ ТЕПЛО"

Исследована стабильность поверхностного сопротивления и оптического пропускания трехслойных структур ITO/Ag/ITO, GZO/Al/GZO, а также тонкопленочной периодической структуры IZO с модулированным по толщине содержанием кислорода при 1000-часовых испытаниях в условиях влажности 85% и температуры 85 °С. Проведен анализ механизмов деградации структур в зависимости от состава и свойств единичных слоев.