Наноразмерные Пленки Cu-=SUB=-2-=/SUB=-O: Формирование Методом ВЧ-магнетронного Распыления, Исследование Структурных И Оптических Свойств

Д.А. Кудряшов,А.С. Гудовских,А.В. Бабичев,А.В. Филимонов,А.М. Можаров,В.Ф. Агекян,Е.В. Борисов,А.Ю. Серов,Н.Г. Философов

Физика и техника полупроводников（2017）

被引用2|浏览0

摘要

Методом магнетронного распыления сформированы наноразмерные слои оксида меди (I) на стеклянных и кремниевых подложках при комнатной температуре в бескислородной среде и проведены исследования их структурных и оптических свойств. Показано, что на кремниевой подложке происходит формирование оксида меди с меньшей разупорядоченностью, нежели на стекле, это подтверждается большей интенсивностью и меньшей полушириной рефлексов дифрактометрической кривой. Наибольшая интенсивность рефлексов дифрактометрической кривой наблюдается для пленок Cu2O, выращенных на кремнии при мощности магнетрона 150 Вт. Спектральная зависимость коэффициентов поглощения и пропускания этих же пленок Cu2O согласуется с известными зависимостями для объемных кристаллов. В рамановских спектрах пленок идентифицированы фононы, соответствующие кристаллической решетке кубических кристаллов Cu2O. DOI: 10.21883/FTP.2017.01.8318

查看译文