Термодинамическое Исследование Комплекса Меди(i) Как Основа Технологии Химического Газофазного Осаждения

Получены новые данные о термическом поведении и процессах сублимации и плавления (гексафторацетилацетонато)(циклооктадиен-1,5)меди, [Cu(cod)(hfac)]. Конденсированная фаза исследована методами термического и дифференциального термического анализа и дифференциальной сканирующей калориметрии: определены температура, энтальпия и энтропия плавления комплекса. Эффузионным методом Кнудсена с масс-спектрометрической регистрацией состава газовой фазы получена температурная зависимость давления насыщенного пара [Cu(cod)(hfac)] в интервале температур 293–337 K, рассчитаны термодинамические характеристики процесса сублимации при средней температуре экспериментального интервала и 298.15 K: ΔсублH0m (Tср) = 94.8 ± 1.5 кДж моль-1, ΔсублS0m (Tср) = 200.9 ± 3.2 Дж моль-1 K-1; ΔсублH0m (298.15 K) = 95.8 ± 3.1 кДж моль-1, ΔсублS0m (298.15 K) = 203.5 ± 6.6 Дж моль-1 K-1. Полученные величины сопоставлены с данными по аналогичному соединению иридия(I), [Ir(cod)(hfac)]. Результаты формируют подходы для оценки термодинамических свойств комплексов состава [M(cod)(hfac)] с целью определения оптимальных условий осаждения металлсодержащих покрытий. Подходы необходимы, когда соединения такого типа (например, [Ag(cod)(hfac)]) являются сверхчувствительными к процессу нагревания и отсутствует возможность определения надежных термодинамических характеристик экспериментальным путем.