激光衍射测角仪Hong-wei SHAO,Ping LI,Zhan LAI,Jian-jun CUIActa Metrologica Sinica(2014)被引用1|浏览8摘要介绍了激光衍射测角仪的测量方法,与传统的光学编码测角仪、光学分度测角仪、光栅测角仪等相比,具有分辨率和精度更高等优点,特别是分辨率比同分度盘直径的传统测角仪(光栅测角仪)提高20倍以上.激光衍射的应用将对提高测角水平和伺服控制技术有重要的意义.更多上传PDF原文链接分享引用加入学术空间AI 理解论文数据免责声明页面数据均来自互联网公开来源、合作出版商和通过AI技术自动分析结果,我们不对页面数据的有效性、准确性、正确性、可靠性、完整性和及时性做出任何承诺和保证。若有疑问,可以通过电子邮件方式联系我们:report@aminer.cnChat Paper正在生成论文摘要