プラズマ重合法によるLow-k有機高分子膜成長技術とその応用( : 低誘電率層間膜及び配線技術)潤 川原,宗弘 多田,浩人 大竹,恵充 原田,政由 田上,政幸 廣井,啓蔵 木下,忍 斎藤,貴弘 小野寺,直也 古武,喜宏 林SIAM International Conference on Data Mining (SDM)（2001）CCF B被引用23|浏览28关键词cu上传PDF引用加入学术空间AI Read Science数据免责声明页面数据均来自互联网公开来源、合作出版商和通过AI技术自动分析结果，我们不对页面数据的有效性、准确性、正确性、可靠性、完整性和及时性做出任何承诺和保证。若有疑问，可以通过电子邮件方式联系我们：report@aminer.cnChat Paper正在生成论文摘要
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