一种耐高温高压小尺寸光纤MEMS地震检波器仿真与分析

针对井中套管外永置式微地震监测应用需求,设计了一种耐高温高压的小尺寸光纤MEMS井下微地震检波器,利用有限元分析软件ANSYS对设计的光纤MEMS地震检波器进行仿真分析.仿真结果显示,该型检波器在 0～350 Hz的频响范围内能达到 75.562 nm/g的加速度灵敏度,横/轴向加速度灵敏度比值为 7×10-4,可实现百十μg量级的井中地震信号监测.采用高集成度结构设计实现外径16.6 mm的紧凑型光纤MEMS地震检波器,具备套管外永置式安装能力;选用硅基MEMS芯片抑制高温交叉影响并通过对结构材料筛选达到＞200℃的耐温性能;压力仿真结果表明,设计的光纤MEMS地震检波器具备 200 Mpa耐压能力,可满足油气井套管外微地震监测的应用需求.