10nm大量生産のための自己整合4重パターンと2重パターニングを用いた相互接続スタック【JST・京大機械翻訳】A Yeoh,A Madhavan,N Kybert, S Anand,J Shin,M Asoro,S Samarajeewa,J Steigerwald, C Ganpule,M Buehler, Aditi Kumar Tripathi, V Souw,M Haran,Shreya Nigam,V Chikarmane,P Yashar,T Mule, Wu Y-H., Lee Ks, M Aykol, K Marla,P Sinha, S Kirby,H Hiramatsu, W Han, M Mori, M Sharma, H Jeedigunta,M Sprinkle,C Pelto, M Tanniru,G Leatherman,K Fischer,I Post,C AuthIEEE Conference Proceedings（2018）被引用0|浏览13上传PDF引用加入学术空间AI Read Science数据免责声明页面数据均来自互联网公开来源、合作出版商和通过AI技术自动分析结果，我们不对页面数据的有效性、准确性、正确性、可靠性、完整性和及时性做出任何承诺和保证。若有疑问，可以通过电子邮件方式联系我们：report@aminer.cnChat Paper正在生成论文摘要
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